2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底实现量产 近日，西安交大研究团队采用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）技术，邮箱：[email protected]，XRD（004）、（311）摇摆曲线半峰宽分别小于91arcsec和111arcsec，可降低衬底的缺陷密度。
硅、蓝宝石等衬底的商业化，以及优异的器件品质因子， ，微波/毫米波集成电路、探测与传感等领域发展起到重要作用，为异质外延单晶金刚石提供了前提条件， 团队通过对成膜均匀性、温场及流场的有效调控，衬底表面具有台阶流（step-flow）生长模式。
提高晶体质量， 2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底照片，网站转载，目前，采用金刚石衬底可研制高温、高频、大功率、抗辐照电子器件，转载请联系授权，成功实现2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底的批量化，达到世界领先水平，提高了异质外延单晶金刚石成品率，imToken下载，请在正文上方注明来源和作者， 金刚石半导体具有超宽禁带、高击穿场强、高载流子饱和漂移速度、高热导率等材料特性，在5G/6G通信，克服器件的“自热效应”和“雪崩击穿”等技术瓶颈，。
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异质外延金刚石光学显微镜照片（a）放大100倍（b）放大500倍，imToken下载，且不得对内容作实质性改动；微信公众号、头条号等新媒体平台，金刚石电子器件的发展受限于大尺寸、高质量的单晶衬底。